,据媒体报道,已顺利量产 7nm、5nm 芯片制程工艺的台积电和三星电子,已采购了大量的极紫外光刻机,用于为相关的厂商代工芯片。
而除了台积电、三星电子等芯片代工商,存储芯片制造商也已采购或计划采购极紫外光刻机。主要应用于集成电路制造,超精密制造,光学,医疗等行业。年初就曾有外媒报道,SK 海力士新建成的 M16 工厂,就已安装了极紫外光刻机。华卓精科的主营业务是超精密测控设备。
媒体的报道显示,美光科技也已计划采购极紫外光刻机。美光科技负责全球运营的执行副总裁,在当地时间周四的一场在线会议上透露,计划 2024 年开始安装极紫外光刻机。其产品包括精密运动系统,掩模对准器双级模块,静电卡盘,晶圆级键合设备,激光退火设备等。。
随着越来越多的厂商采购极紫外光刻机,加之台积电、三星电子、英特尔对极紫外光刻机需求的增大,极紫外光刻机厂商也将从中获利,阿斯麦是目前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商。
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