并将在2023年推出i—line设备

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据梅生上海介绍，梅生半导体设备有限公司是一家为半导体先驱和先进的晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的供应商成功推出涂胶显影轨道设备，公司正式进入涂胶显影轨道市场此前，该公司升级了其在清洁，粘合和显影领域的专业知识

盛海上海于2013年研发出第一台包涂机和显影机，2014年交付客户使用盛上海将在几周内向中国国内客户交付第一台ArF涂层和显影轨道设备，并将在2023年推出i—line设备此外，该公司已经开始开发KrF设备

设备亮点

梅生上海涂胶显影跟踪设备是用于300mm晶圆制程的设备，可提供均匀的倒风，高速稳定的机器人搬运和强大的软件系统，以满足客户的特定需求该设备具有多种功能，可降低产品不良率，提高生产能力，节省总拥有成本开发胶轨设备将支持各种光刻工艺，包括i—line，KrF和ArF系统

显影胶轨设备支持光刻工艺，可以保证满足工艺要求，同时优化了晶圆在光刻设备中曝光前后的涂胶和显影步骤本站了解到，该设备是专门为300mm晶圆设计的，12英寸晶圆有4个装载口，8个涂胶腔和8个显影腔设备腔体温度可精确控制在23℃±0.1 ℃，烘烤范围为50 ℃~ 250 ℃，晶圆损伤率小于1/50000此外，受全球专利申请保护的全新结构设计还可扩展至支持12个涂胶腔和12个显影腔，每小时晶圆产能可达300片，未来伴随着涂胶和显影腔的增多，产能可达每小时400片以上

盛上海专注于先进集成电路制造和先进晶圆级封装制造产业，研发，生产和销售至关重要的单片晶圆及槽式湿法清洗设备，电镀设备，无应力抛光设备和立式炉管设备，为半导体厂商提供定制化，高性能，低消耗的工艺解决方案，提高客户的多步生产效率和产品良率。

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